MEDIDORES MÁSICOS
DESCRIPCIÓN
La serie MARU8000HT está diseñada para el control de precursores vaporizados en entornos de alta temperatura. Gracias a un desarrollo tecnológico continuo, se prevé ampliar su capacidad hasta los 200 °C, asegurando una medición y control precisos en condiciones extremas.
CARACTERÍSTICAS TÉCNICAS
- Tipo: MFC de alta temperatura
- Tiempo de respuesta: ≤1 s
- Métodos de medición: Sensor térmico y de presión
- Resistencia a la corrosión: Pulido electrolítico <0,1 µm RA
- Temperatura máxima: Disponible para 150 °C
- Diseño compacto: MFC tipo delgado disponible
- Presión diferencial mínima: ≥3,8 kPa
- Comunicación: D-NET, EtherCAT, RS485, Analógico V&A
MODELOS
- De tuerca manguito y tuerca de bloqueo: HDN, HDPS (Metric), HDPS (Inch), HDS (Inch), HDS (Metric), HDBR (Inch and Metric), HDBN, HDBN
- Adaptadores rectos: HDU, HDUB, HDUBMC-U, HDMC-U, HDMCL-U, HDMC-N, HDCF-N, HDMC-M, HDMC-MED, HDMC-GED, HDCF-TSW, HDCF-MSW, HDCW
- Adaptadores rectos giratorios: HDSV, HDMCSV, HDSVU, HDSVMC-U, HDSVCF-U, HDSVMC-N, HDSVCF-N, HDSVMC-M, HDSVMC-MED, HDSVMC-GED,
- Codo de 45º: HDLBUB, HDLBUB, HDLB-SV, HDLB-UP, HDLB-MP, HDLB-N, HDLB-GP
- Codo de 90º: HDL, HDL-M, HDLUB, HDLUB-M, HDL-SV, HDL-SV, HDSVL, HDL-UP, HDLL, HDL-N, HDL-MPK, HDLL-MPK, HDL-MP, HDL-GP
- En T: HDT, HDTBM, HDTRM, HDTBSV, HDTBM-UP, HDTBM, HDTBM-MP, HDTBM-GP
- Cruces: HDX
- Tapones, caperuzas y adaptadores de purga: HDP, HDC
- Conjunto de tuerca UPTC: HDUPTC
| Modelo | Presión máx. entrada | Presión máx. salida | Flujo máximo | Material |
| BB-1 Series | 414 BAR | 124 BAR | Cv=.06 | Aluminio |
| BB-5 Series | 414 BAR | 83 BAR | Cv=.06 | Aluminio |
| 44-1100 Series | 415 BAR | 414 BAR | Cv=.12 | Latón |
| 44-1800 Series | 414 BAR | 172 BAR | Cv=.24 | Latón |
| 26-1000 Series | 690 BAR | 690 BAR | Cv=.12 | Latón |
| 26-2000 Series | 1035 BAR | 690 BAR | Cv=.12 | Latón |
